碳化硅晶体生长与缺陷
作者:
施尔畏编著
ISBN:
9787030341280
出版日期:
2012-05
版次:
1
中图分类号:
P578.94
学科分类:
丛书:
附注信息:
本书是国家重点项目《PVT法碳化硅晶体生长与缺陷研究》的系统总结,内容包括碳化硅晶体的多型结构与表征、碳化硅晶体的物理气相输运法生长等。

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