微系统封装技术概论
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作者:
金玉丰,王志平,陈兢编著
ISBN:
7030169409
出版日期:
2006-03
版次:
1
中图分类号:
TN405.94
学科分类:
电子与通信技术
丛书:
半导体科学与技术丛书
附注信息:
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图书简介:
本书以微电子封装和集成技术为重点,融合了MEMS封装技术、射频系统封装技术、光电子封装技术,介绍了微系统封装设计基础技术、厚薄膜精细加工技术等相关内容。
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