微电子学器件. Ⅰ. 数字器件和工艺
作者:
(日)菅野卓雄等著;杨沁清,韦琳译
ISBN:
7030018354
出版日期:
1990-11
版次:
1
中图分类号:
TN4
学科分类:
附注信息:
本书是微电子学讲座第一卷。在这一卷内,作者以支撑微电子学的集成电路技术为中心,较详细地阐述了半导体的基本物理性质,半导体器件的种类和各种半导体器件的工作原理,制造半导体器件和集成电路的材料及工艺技术,典型的双极型和MOS型集成电路的结构,新的Ⅲ-V族半导体和约瑟夫森集成电路等。
本书可供从事半导体器件及集成电路研究和生产的科技人员、高等院校有关专业的师生阅读。

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